这首古体诗写诗人的一个平常的生活片断。诗人按照行动的足迹，安排了连续的四个场面。全诗没有奇思妙语，没有汹涌的生活波澜。诗人只是拣取身边日常琐事，平淡的生活场景，略加点染，流露出恬淡的生活旨趣，给人以情真语切的感觉。
先写归家途中的情景。“暮归山已昏，濯足月在涧。”暮色苍茫，乱山昏暗。崎岖的山道上，诗人信步归家。在诗人的感觉中，溪涧潺谖，淙淙作响；明月初升，清辉撒冷；涧水清澈，月影流布。空山是这样的清幽，这样的寂寥。身在其中，濯足清流，别有一番情趣。“濯足”暗用了《楚辞·渔父》的故实，含蓄地表达出诗人的身份、生活态度和高尚节操。起句擒题，所写之景，所叙之事，无不是“暮归”，无不是“山中”。
随着诗人的脚步，眼前出现了一座山间陋室。“衡木栖鹊定，暗径流萤乱。”其屋横木为门，简陋如此；鹊栖其上，冷落可知。再以小径幽暗，流萤乱飞加以渲染，景象的荒芜，氛围的凄清，家境的贫寒很好地表现了出来。诗人的感情通过“衡门”作了隐隐的透露和巧妙的暗示。衡门虽然简陋，但如果自己不以为陋，也可以游息其间。贤者乐道忘忧，虽身处陋室，而不以为苦，反能自得其乐。这是一种乐观的人生态度，尽管这种态度的背后也有悲哀和痛苦。诗人就是以这样的贤者自居，甘处衡门，自得其乐。从“栖鹊”、“流萤”等景物看，较一、二句所写事物已有一段时间间隔，这时夜幕降临已很久了。“栖鹊定”与“流萤乱”，这一“定”一“乱”，一静一动，相映成趣，下字十分准确，是句中字眼。
接下来便是叙写家人团聚的情景。“妻孥候我至，明灯共蔬饭。”天色已晚，灯火已明，粗菜淡饭已具，妻子儿女坐等诗人归家。和乐融融的山乡田家生活显得真切而自然。最后以诗人伫立松桂之下，仰望浩渺星空作结，意蕴幽远，含蓄深沉。“伫立松桂凉，疏星隔河汉。”夜已很深，万籁俱寂；晚风习习，凉意袭人。诗人久久伫立，徘徊松桂之下。仰望天空，只见疏星点点，明月高悬，勾起了诗人无限的遐想。诗人似乎有所失落，有所追寻，而失落追寻的究竟为何物，又显得倘恍迷离，这就给读者留下了可供想象的无限空间。
全诗采用移步换景之法，层层推移，步步腾挪，使诗歌跳脱而有变化。诗人用疏淡的笔触，通过平凡生活事件的叙述和特定环境的描绘，反映出诗人复杂的内心世界。有对山间恬淡生活的热爱，也有人生失意后的淡淡哀愁。诗中的溪涧幽泉，青松佳桂等意象，透露出山野闲人那种清高隐逸的旨趣。而暗径幽深，流萤乱舞，又烘托出诗人烦乱茫然的情绪。诗的基调是较为明快自然的，但也多少笼罩了一层轻柔的迷惘和淡远的惆怅。诗人运笔古拙，洗脱铅华，纯用白描，以平实直朴取胜，而不以夸饰渲染为工。初读起来似觉有些乏味，但细加玩赏，便又能感觉到语虽淡而味终不薄。这也许就是此诗的成功之处。
首联“了然知是梦，既觉更何求?”是说明自己已经参破生死根本，彻底明白人生不过一梦。如今，既然大梦已醒，还有什么欲望和追求呢？因此他接着写道：“死入孤峰去，灰飞一烬休”，这可以做两种解释。一是死了施行出家人的火葬，化做灰烬，埋进孤坟。一是死后埋葬到孤零零的山中，如同火尽灰扬一样，都是同样一个空空的结局。
李白有诗句，曰：“道人制猛虎，振锡还孤峰。”只有这样无牵无挂，才有可能领悟自性，达到第三联所描绘的境界：“云无空碧在，天静月华流”。云彩消失了，才能露出碧蓝的天空；天宇平静了，月亮才能洒下清辉，宛如排除一切杂念，自性妙道才能显现一样。有了“无”才有“在”；有了静”才有“流”；有了一无所求，才有自性妙道的呈现，其中体现的是禅家的般若智慧。
“天静月华流”一句，实在是神来之笔。古代诗中常有“月光如水”的描写，已经非常形象地道出了月光的清凉可爱，而“月华流”则又进了一步。它形象生动地描绘出月亮的清辉洒向天地时的景象。这动态的美，抓住了。月光如水”这个“水”字的特征，比他人更胜一筹。
齐己在晚唐颇有些名气，特别是他的咏梅诗句“前村深雪里，昨夜一枝开”，经郑谷改了一字（“数”改为“一”），齐己便谦逊地拜郑谷为师，千古传为佳话。既然能以一字拜郑谷为师，可以想见他很注意炼字功夫。“天静月华流”，可以说就是这样一个精工入神的句子。
末尾两句：“免有诸徒弟，时来吊石头”。“石头”，指盛唐时著名禅师石头希迁和尚，死后门人为之建塔。作者认为这也没有必要，再一次强调生死当一无挂碍，以回应全篇。
全诗仅四句二十八字，该诗撇开了暑热难耐的感受，而仅就“追凉”着墨，以淡淡的几笔，勾勒出一幅夏夜追凉图，表现了作者对大自然的无比热爱。
“追凉”，即觅凉、取凉。较之“觅”和“取”，“追”更能表现对“凉”的渴求，杜甫“忆昔好追凉，故绕池边树”(《羌村三首》其二)诗意可见。但这首诗在艺术处理上却有其独到之处：它撇开了暑热难耐的感受，而仅就“追凉”着墨，以淡淡的几笔，勾勒出一幅夏夜追凉图，其中有皎洁的月光，有浓密的树荫，有婆娑的竹林，有悦耳的虫吟，以及作者悄然伫立的身影。
第一句貌似平直，其实也有一层曲折：中午时分，烈日暴晒，是一天中最为酷热的时刻，而今，“夜热”竟然与“午热”相仿佛，则“夜热”之甚，可想而知。唯其如此，才引出次句诗人月下独立的形象。“开门”，点出作者原在室内。或许他本已就寝，而因夜里天热的缘故，辗转反侧难以入梦，迫于无奈才出门纳凉。而“明月”，则点出正值“月华皎洁”的三五之夜。这样，作者“独立”的目的，应该说是“追凉”与“赏月”兼而有之，追凉可得体肤之适，赏月则可得精神之快，难怪他要独立不移、执着若此了。
第三句是对周围环境的点染：竹林深深，树荫密密，虫鸣唧唧。“竹深树密”，见其清幽；“虫鸣”，则见其静谧——唯其静谧，“虫鸣”之声才能清晰入耳。诗人置身其间，凉意顿生，于是又引出结句“时有微凉不是风”，这一真切、细微的体验。“不是风”，点明所谓凉意，不过是夜深气清，静中生凉而已，并非夜风送爽。范成大《六月七日夜起坐殿取凉》诗亦云：“风从何处来？殿阁微凉生。桂旗俨不动，藻井森上征。”虽设问风从何来，但既然桂旗不动，可见非真有风，殿阁之“微凉”不过因静而生。人们通常说“心静自凉”，其理相若。因此，范诗实可与这首诗参读。
显然静中生凉正是作者所要表现的意趣，但这一意趣并未直接点明。如果没有“不是风”三字，读者很可能将“凉”与“风”联系在一起。陈衍《石遗室诗话》早就指出：“若将末三字掩了，必猜是说甚么风矣，岂知其不是哉。”然而，这首诗的妙处恰恰也就在这里。作者故意直到最后，才将微露其本意的线索交给读者——既然明言“不是风”，善于神会的读者自当想到静与凉之间的因果关系；随即又当想到，前面出现的月光、竹林、树荫、虫鸣，都只是为揭示静中生凉之理所作的铺垫。这样，自然要比直截了当地道出本意更有诗味。大概这就是《石遗室诗话》所称道的“浅意深一层说，直意曲一层说”的旨趣。